青島翼晨鐳碩微納加工平臺(tái)隸屬青島翼晨鐳碩科技有限公司，公司獲評(píng)國(guó)家高新技術(shù)企業(yè)，擁有超過(guò)20項(xiàng)的國(guó)際、國(guó)內(nèi)專利，是山東省、青島市、上合示范區(qū)、膠州市的重點(diǎn)項(xiàng)目，已投資超過(guò)1.6億元。公司與膠州市政府、青島大學(xué)共建了光電產(chǎn)學(xué)研基地，為技術(shù)人員、學(xué)生提供專業(yè)半導(dǎo)體技術(shù)實(shí)訓(xùn)。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺(tái)擁有專業(yè)的外延生長(zhǎng)、電子束曝光、紫外光刻、RIE刻蝕、ICP刻蝕、PVD鍍膜、CVD鍍膜等核心微納加工設(shè)備以及相應(yīng)的配套檢測(cè)設(shè)備，具備0.1nm垂直外延生長(zhǎng)能力、10nm平面圖形加工能力。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺(tái)擁有兩千米的百級(jí)、千級(jí)超凈間環(huán)境，是一個(gè)從材料外延生長(zhǎng)、芯片工藝開(kāi)發(fā)、器件研發(fā)制備到性能檢測(cè)完整的全流程、多功能平臺(tái)。擁有來(lái)自國(guó)內(nèi)外知名企業(yè)及平臺(tái)經(jīng)驗(yàn)豐富的專業(yè)微納加工工程師≥30人，可以為客戶提供從設(shè)計(jì)、材料、工藝、檢測(cè)全方位的定制化微納加工服務(wù)。

青島翼晨鐳碩微納加工平臺(tái)本著開(kāi)放共贏的合作理念，歡迎高校、科研院所、中小微創(chuàng)業(yè)企業(yè)等各類科技工作團(tuán)體前來(lái)合作，開(kāi)展外延代工、工藝代工、科研合作、協(xié)助研發(fā)、中試和小批量生產(chǎn)、設(shè)備共享、超凈共享、人員培訓(xùn)等相關(guān)技術(shù)服務(wù)。